低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調、真空脫氣（鋼水處置）等懇求具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽氣機組，這類低真空抽氣機組主泵常用往復式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環泵、羅茨泵等。運用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求，配置必要的除塵器、單調罐等部件。水蒸氣在緊縮過程中會凝結成水滴，并與泵混合構成懸浮液，不只會使真空度降落，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的

極限真空度降落。為此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有：選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵；裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運用；運用吸水性強的單調劑；運用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。

 擴散泵真空系統污染與防治油擴散泵真空系統是運用最普遍的真空系統，其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa。油擴散泵真空系統構成的各類真空裝置，長期運用后，常見的缺點是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內壁的油蒸氣污染、真空工藝過程各種污染物的污染有關，防止的辦法是：定期清洗真空室；定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵中止清洗。